为了控制洁净室内空气中各类化学污染物浓度,应采用多种污染物控制技术措施,包括洁净室建造材料污染物控制、人员污染物控制、原辅材料污染物控制、生产工艺方法污染控制、室外和室内空气污染物控制等。对洁净室净化空调系统,应根据要求装设化学过滤器或在洁净室内设局部超净设备或微环境隔离易受AMC污染危害的生产工艺或生产设备。目前国内外都在研究开发各种类型的化学过滤器,国外传递窗柜已有化学过滤器系列产品出售,表4-46是日本一家公司生产的化学过滤器技术数据。
我公司生产多种类型的化学空气过滤器.,如GENC型洁净室用多V型化学过滤器,采用0.SJum微球活性炭,不破裂、不发尘,负载在聚氨酯三维多孔载体上,滤材标准厚度为(20±2)mrn;有三种滤料,即T20-A碱性气体用,T20-C酸性气体用,T20-L有机气体用;一层滤料在面风速为2.5m/s时的阻力为50Pao外框材料为不锈钢。